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关于单晶硅壓力變送器你真的了解吗?

浏覽次數:103發布日期:2019-11-15
       单晶硅壓力變送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度、压力,然后将其转变成4-20mAHART电流信号输出,也可与HART375或BST Modem相互通信,通过他们进行参数设定、过程控制。与传统壓力變送器的区别在于它使用的是纳米单晶硅作为传感器材料。
  单晶硅壓力變送器采用目前国际上先进的微机械单晶硅传感器技术,利用单晶硅材料较佳的稳定性与重复性特点,通过微机械加工工艺与激光焊接封装工艺,可靠性与稳定性较高,单向过载于静压影响较小。HART数字通信技术增添了智能化与数字通信功能,进一步满足了工业现场测量队仪表高可靠性、高稳定性与智能化的要求。
  传感器模块采用全焊接技术,内部拥有一个整体化的过载膜片,一个压力传感器和一个溫度傳感器。溫度傳感器作为温度补偿的参考值。压力传感器的正压侧与传感器膜盒的高压腔相连,传感器的负压侧与传感器膜盒的低压腔相连,压力通过隔离膜片和填充液,传递给传感器内的硅芯片,使压力传感器的芯片的阻值发生变化,从而导致检测系统输出电压变化。该输出电压与压力变化成正比,再由适配单元和放大器转化成一标准化信号输出。
  单晶硅壓力變送器的工作原理:
  单晶硅壓力變送器利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
  单晶硅壓力變送器当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。
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